EH330V
 

Технические характеристики

 Максимальная мощность луча  300 кВт
 Диапазон регулирования мощность луча:
 - Регулирование мощности вариокатодом (режим ограниченного объемного заряда) 
 
 ≈ 20 до 100% 
 - Регулирование мощности мощностью бомбардировки (режим ограниченной температуры)  0 до 20%
 Максимальное напряжение ускорения  45 кВ
 Средний срок службы катодов при максимальной мощности луча  100 до 200 ч
 Магнитные линзы  2
 Магнитная система развертки  1
 Ограничивающая частота (f0.7)   1 кГц 
 - Опция  10 кГц
 Максимальный угол отклонения (наложенное статическое и динамическое отклонение)  ± 40 градусов
 Максимальный угол динамического отклонения для отклоняющихся схем 1 кГц  ± 12 градусов 
 Минимальный диаметр пятна (при расстоянии в 1 м, максимальной мощности луча и 45 кВ):
 - при давлении процесса 5*10‾² Па 

 ≈ 15 мм 
 - при давлении процесса 5*10‾³ Па  ≈ 20 мм
 Максимальное давление в технологической камере  ≈ 5 Па
 Рекомендуемые показатели вакуумных насосов:
 - Турбомолекулярный насос на катодной камере 

 300 л/с 
 - Турбомолекулярный насос на промежуточной камере   300 л/с
 - Форвакуумный насос для обоих турбомолекулярных насосов  20 м³/ч
 Время откачки насоса  < 10 мин
 Утечка рентгеновского излучения  < 1 мк3в/ч
 Общий расход охлаждающей воды  0.5 м³/ч
 Подача сжатого воздуха (сухого)  0.5 МПа
 Высота (с закрытой крышкой)  1010 мм
 Максимальный радиус (без вакуумных насосов)  350 мм
 Вес  190 кг
 Соединительный фланец пушки  Ду 160 ISO-F
 Соединительные фланцы вакуумных насосов:
 - Катодных камер 

 Ду 100 ISO-F 
 - Промежуточных камер  Ду 100 ISO-F

Техническое описание

Электронная пушка создает осесимметричный гомоцентрический электронный луч. С помощью электромагнитной системы линзы луч пропускается через узкие водоохлаждаемые каскады с развязкой по давлению (сопротивления потоку). 

Благодаря автономной откачке катодных и промежуточных камер обеспечивается надежная развязка по давлению относительно рабочей камеры и стабильная генерация луча. Для управления мощностью электронная пушка оснащена варио-катодом, который позволяет регулировать мощность электронного луча при постоянном напряжении ускорения и температуре эмиссии с катода изменением расстояния между анодом и катодом. Ускоряющее напряжение до 60 кВ обеспечивает фокусировку даже при высокой мощности электронного луча и превосходную плотность энергии при прохождении таких сред, как электронное облака пара или плазмы. Несмотря на умеренную стоимость, обеспечена полная радиационная безопасность. Отклоняющие системы пушки позволяют получать, как статическое, так и точное динамическое отклонение луча и за счет этого гибкое распределение мощности.

Основные сферы применения

- Электронно-лучевая плавка и очистка расплава высокореактивных и тугоплавких металлов (титан, тантал, ниобий, вольфрам и др.), например, в печах Cold-Hearth и Drip-Melt для производства сплавов и чистых металлов. Различные усилители мощности позволяют выбрать наиболее экономически эффективное решение в зависимости от требуемых частот и углов отклонения.

- Осаждение из паровой фазы. Высокоскоростное испарение металлических и неметаллических материалов из водоохлаждаемых медных, керамических или графитных тигелей. Электронно-лучевые системы VON ARDENNE идеально подходят для процесса испарения из фазы плазмы.

- Термообработка. Закалка, модификация поверхности, моделирование высокотемпературных процессов.

- Использование электронного луча как источника энергии в вакууме.

Преимущества

- Высокое ускоряющее напряжение до 60 кВ
- Регулирование мощности с помощью запатентованного варио-катода
- Магнитная самофокусировка луча
- Высокая степень развязки по давлению
- Электронно-лучевая пушка отделена от технологической камеры внутренним клапаном
- Простота эксплуатации и технического обслуживания
- Высокая надежность