EH330V |
||
 |
||
Технические характеристики
| Максимальная мощность луча | 300 кВт |
| Диапазон регулирования мощность луча:
- Регулирование мощности вариокатодом (режим ограниченного объемного заряда) |
≈ 20 до 100% |
| - Регулирование мощности мощностью бомбардировки (режим ограниченной температуры) | 0 до 20% |
| Максимальное напряжение ускорения | 45 кВ |
| Средний срок службы катодов при максимальной мощности луча | 100 до 200 ч |
| Магнитные линзы | 2 |
| Магнитная система развертки | 1 |
| Ограничивающая частота (f0.7) | 1 кГц |
| - Опция | 10 кГц |
| Максимальный угол отклонения (наложенное статическое и динамическое отклонение) | ± 40 градусов |
| Максимальный угол динамического отклонения для отклоняющихся схем 1 кГц | ± 12 градусов |
| Минимальный диаметр пятна (при расстоянии в 1 м, максимальной мощности луча и 45 кВ):
- при давлении процесса 5*10‾² Па |
≈ 15 мм |
| - при давлении процесса 5*10‾³ Па | ≈ 20 мм |
| Максимальное давление в технологической камере | ≈ 5 Па |
| Рекомендуемые показатели вакуумных насосов:
- Турбомолекулярный насос на катодной камере |
300 л/с |
| - Турбомолекулярный насос на промежуточной камере | 300 л/с |
| - Форвакуумный насос для обоих турбомолекулярных насосов | 20 м³/ч |
| Время откачки насоса | < 10 мин |
| Утечка рентгеновского излучения | < 1 мк3в/ч |
| Общий расход охлаждающей воды | 0.5 м³/ч |
| Подача сжатого воздуха (сухого) | 0.5 МПа |
| Высота (с закрытой крышкой) | 1010 мм |
| Максимальный радиус (без вакуумных насосов) | 350 мм |
| Вес | 190 кг |
| Соединительный фланец пушки | Ду 160 ISO-F |
| Соединительные фланцы вакуумных насосов:
- Катодных камер |
Ду 100 ISO-F |
| - Промежуточных камер | Ду 100 ISO-F |
Техническое описание
Электронная пушка создает осесимметричный гомоцентрический электронный луч. С помощью электромагнитной системы линзы луч пропускается через узкие водоохлаждаемые каскады с развязкой по давлению (сопротивления потоку).
Благодаря автономной откачке катодных и промежуточных камер обеспечивается надежная развязка по давлению относительно рабочей камеры и стабильная генерация луча. Для управления мощностью электронная пушка оснащена варио-катодом, который позволяет регулировать мощность электронного луча при постоянном напряжении ускорения и температуре эмиссии с катода изменением расстояния между анодом и катодом. Ускоряющее напряжение до 60 кВ обеспечивает фокусировку даже при высокой мощности электронного луча и превосходную плотность энергии при прохождении таких сред, как электронное облака пара или плазмы. Несмотря на умеренную стоимость, обеспечена полная радиационная безопасность. Отклоняющие системы пушки позволяют получать, как статическое, так и точное динамическое отклонение луча и за счет этого гибкое распределение мощности.
Основные сферы применения
- Электронно-лучевая плавка и очистка расплава высокореактивных и тугоплавких металлов (титан, тантал, ниобий, вольфрам и др.), например, в печах Cold-Hearth и Drip-Melt для производства сплавов и чистых металлов. Различные усилители мощности позволяют выбрать наиболее экономически эффективное решение в зависимости от требуемых частот и углов отклонения.
- Осаждение из паровой фазы. Высокоскоростное испарение металлических и неметаллических материалов из водоохлаждаемых медных, керамических или графитных тигелей. Электронно-лучевые системы VON ARDENNE идеально подходят для процесса испарения из фазы плазмы.
- Термообработка. Закалка, модификация поверхности, моделирование высокотемпературных процессов.
- Использование электронного луча как источника энергии в вакууме.
Преимущества
- Высокое ускоряющее напряжение до 60 кВ
- Регулирование мощности с помощью запатентованного варио-катода
- Магнитная самофокусировка луча
- Высокая степень развязки по давлению
- Электронно-лучевая пушка отделена от технологической камеры внутренним клапаном
- Простота эксплуатации и технического обслуживания
- Высокая надежность