Туннельная установка для магнетронного распыления GC254H
 

Технические характеристики

 Подложка плоское стекло
 Габариты (Ш х Д), макс 2540 х 3810 мм (возможны модификации)
 Толщина включая неровности 2 - 19 мм
 Длительность цикла > 25 с
 Базовое давление в камере распыления 5 x 10-6 мбар
 Требования к рабочему телу задаются в зависимости от процедуры конфигурации катодов и производительности
 Подключение к сети 400 В, 50 Гц
 Длительность этапа до 4 недель

Техническое описание

Вакуумные системы, использующие турбо-молекулярные и сухие форвакуумные насосы. Заказчик имеет возможность дооснастить установку любыми новыми устройствами, в частности изменив расположение крышек насоса, крышек магнетрона, обустройство магнетрона и других устройств между отдельными секциями. Имеется возможность установить вентили для выборочной продувки тех или иных распылительных секций. 

Источники магнетронного распыления обеспечивают высокоточное осаждение композитных сложных систем слоев равномерной толщины на большой поверхности. Магнетронное распыление является технологической основой для всех процессов нанесения покрытий на архитектурное стекло. С высокой скоростью осаждения и с равномерной толщиной слоев получают все распространенные в отрасли системы слоев, в том числе: 

- Функциональные слои для LowE (Ag) 

- Отражающие слои (Cr, SSt, Ti…) 

- Слои диэлектриков (ZnO, SnO2, TiO2, Si3N4...) 

- Поглощающие слои (CrN, TiN, NiCr...) 

При магнетронном распылении генерируется усиленный магнитным полем плазменный разряд под высоким вакуумом и в атмосфере аргона. При бомбардировке выступающего в функции катода материала покрытия (мишень) положительными ионами аргона из поверхности мишени выбиваются отдельные атомы. Эти атомы конденсируются на подлежащей напылению подложке в виде сплошного тонкого слоя. Для покрытия больших площадей используют удлиненные магнетроны с планарными мишенями либо вращающимися мишенями длиной до 3,75 м. В зависимости от конечного назначения используют системы различной конфигурации. К ним относятся, например, магнетроны с одинарными или сдвоенными мишенями с питанием от постоянного и переменного тока.

Системы слоев

SOLAR-CONTROL (регулирование параметров солнечной энергии) - решение от VON ARDENNE: REFLEX-СЕРИИ Покрытия Solar-Control уменьшают интенсивность света, попадающего в здание. Solar-Control-покрытия были первыми видами покрытия стекла, полученными осаждением в вакууме и использованными для одинарного остекления или стеклопакетов. В связи с ужесточением требований к защите климата такие покрытия используется, как правило, только в сочетании с теплоизолирующими покрытиями в пакетном остеклении и все чаще вытесняются комбинацией покрытий (Low-E-Sun). 

- LowE - решение от VON ARDENNE: COMFORT-СЕРИИ Теплоизолирующие покрытия (LowE) содержат тонкий слой серебра и отличаются низким теплоизлучением. При использовании таких покрытий в пакетном остеклении получают хорошее прохождение солнечной энергии и дневного света, но почти полностью предотвращаются потери тепла через стекло. 

- DOUBLE LowE - решение от VON ARDENNE: SELECT-СЕРИИ Солнцезащитные покрытия (Double LowE) сочетают теплоизоляционные свойства низкоэмиссионного LowE-покрытия с затеняющими свойствами Solar-Control-покрытий. Эти покрытия - их обычно называют двойными покрытиями серебром - задают во всех климатических зонах Земли стандарт для современной архитектуры застекленных офисных зданий. 

- TRIPLE LowE - решение от VON ARDENNE: SUPER SELECT-СЕРИИ Все более жесткие требования к солнцезащитным покрытиям - в сочетании со строгими архитектурными стандартами - все чаще обуславливают использование тройных серебряных покрытий (Triple LowE), которые отвечают самым высоким требованиям с точки зрения защиты климата и эстетики.