Оборудование для магнетронного напыления на стекло

Компания VON ARDENNE ("Фон Арденн") была основана в 1991 году на базе научно-исследовательского института Манфреда фон Арденна. VON ARDENNE разрабатывает и производит промышленное оборудование для вакуумного напыления на такие материалы как стекло, полупроводниковые пластины, металлические полосы и полимерные пленки. Эти покрытия придают поверхностям новые функциональные свойства, а их толщина может составлять от одного нанометра до нескольких микрометров в зависимости от области применения. Обладая опытом в области электронно-лучевых процессов и технологий магнетронов, компания VON ARDENNE является ведущим поставщиком систем и оборудования для нанесения покрытий на стекло, используемого в тонкопленочной фотовольтаике.

Нанесение покрытий на архитектурное стекло - это эффективное средство защиты окружающей среды, так как современные технологии остекления заметно увеличивают достигаемую им теплоизоляцию зданий. За счет этого можно сократить расходы на нагревание, кондиционирование воздуха, а также выбросы CO2. 

Первая проточная установка для вакуумного напыления энергосберегающих покрытий на стекло для формата Jumbo (3,21 м х 6,00 м), первоначально оснащенная планарными магнетронами, была создана на VON ARDENNE в 1996 г. Сегодня ведущим производителям стекла компания VON ARDENNE поставляет самые современные технологические линии, оснащенные трубчатыми магнетронами собственной конструкции. При этом Заказчики VON ARDENNE несомненно оказываются в выигрыше благодаря реализации в предлагаемом оборудовании многолетних наработок и технологических инноваций процессов нанесения покрытий.

Камера распыления состоит из универсальных секций современной 780 мм компоновки в количестве согласно потребностям заказчика. Чтобы достичь максимальной гибкости, все секции выполнены идентичными. Они рассчитаны на установку турбомолекулярных насосов или источников распыления различных типов - от планарных катодов до трубчатых магнетронов с вращающимися мишенями под постоянный или переменный ток распыления. Без каких-либо проблем можно встраивать дополнительные устройства и системы управления процессом.